Skip to Main Content

Zasoby aparaturowe w sieci VIA CARPATIA

Szczegóły dot. aparatury

Numer inwentarzowy
System nanotechnologiczny
Uczelnia
Politechnika Rzeszowska
Nazwa urządzenia
System nanotechnologiczny
Opiekun/Kierownik jednostki
• Opiekun lab. HYBRID: dr hab. inż. Mariusz Węglarski, prof. uczelni • Kierownik KSEiT: dr hab. inż. Piotr Jankowski-Mihułowicz, prof. uczelni
Ilość urządzeń
Rozwiązanie systemowe złożone z wielu urządzeń
Jednostka/Lokalizacja/Komórka
• jednostka: EU/ Katedra Systemów Elektronicznych i Telekomunikacyjnych/ WYDZIAŁ ELEKTROTECHNIKI I INFORMATYKI • lokalizacja: A5-7 • komórka: laboratorium zintegrowanych mikro- i nanotechnologii elektronicznych HYBRID
Opis
Kontrolowane i powtarzalne osadzanie warstw techniką rozpylania magnetronowego oraz niskotemperaturowego (materiały organiczne) i wysokotemperaturowego naparowania termicznego. Obrazowanie powierzchni nanoelementów, nanolitografia, nanomanipulacja. Główne urządzenia linii technologicznej PCB determinujące jakość wytwarzania struktur wielowarstwowych: • mikroskop sił atomowych SPM NT-MDT NTEGRA Prima; • napylarka próżniowa PVD PREVAC; • piec kwarcowy ATV PEO 603.
Parametry
Tryby pomiarowe AFM: kontaktowy, półkontaktowy, bezkontaktowy, przewodnictwo elektryczne, mikroskopia pojemnościowa, rozkład ładunku elektrycznego, rozkład pola magnetycznego, rozkład potencjału powierzchniowego, pomiar temperatury, przewodnictwa temperaturowego, sił tarcia, obrazowanie fazowe, STM, SNOM odbiciowy.
Kontakt
• Opiekun lab. HYBRID: tel. 17 865 1234, wmar@prz.edu.pl • Kierownik KSEiT: tel. 17 865 1234, pjanko@prz.edu.pl
Zdjęcie